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    第五世代液晶檢查裝置用解決方案 第五世代液晶檢查裝置用解決方案

    行程:1200×1,470mm

    裝置尺寸:2,600×2,500mm

    重復定位精度(上軸,下軸):±3.0μm、±3.0μm

    最高速度(上軸):1,500mm/sec

    最高速度(下軸):500mm/sec

     更多詳情
    液晶制造用平臺 液晶制造用平臺
    技術參數:
    行程:690×1, 550mm
    尺寸:1,600×1,660mm
    定位時間:400msec
    最高速度?。?00mm/sec
    真直度(垂直/水平)
     更多詳情
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